DRF-95单晶矽生长炉8“太阳能和半导体锭。
武装与TLPE高性能(高拉速和低功耗消费)热区,客户可以受益从显着降低运营成本,以及改善优化 主要技术规格的晶体质量。
项目 | 规范 | |
1 | 锭直径 | ∮8“-10” |
2 | 充电大小 | 95kg/20“坩埚; 120kg/22”的坩埚 |
3 | 炉膛尺寸 | ∮950×1250mm结构 |
4 | 喉径 | ∮300毫米 |
5 | 拉商会大小 | ∮300 *2500毫米 |
6 | 种子升降率 | 0.2-8mm/min |
7 | 种子旋转(可逆) | 0-30RPM |
8 | 坩埚旋转(可逆) | 0-20rpm的 |
9 | 总坩埚旅游 | 450毫米 |
10 | Crucibel升降速率 | 0.02-1mm/min |
11 | 电器(变压器容量) | 190KVA |
12 | 电极距离/数量 | ∮500毫米/ 4正常 |
13 | ***大真空环境温度下。 | <3Pa的 |
14 | 重量 | 4000公斤 |
15 | 尺寸 | 2300 * 1410 *7100毫米(L * W * H) |