测量范围
■ 可测量电阻率：0.1～19.9Ω*cm(可扩展）。
■ ***大电阻测量误差（按JJG508-87进行）≤±5%
■ 适合测量各种厚度的硅片，可测晶片直径（***大）
■ 园形：Ф100mm ；方形：230×220mm 恒流源
■ 输出电流：0.01～1mA连续可调，误差≦±0.5%。
■ 恒流精度：各档均优于±0.1% 直流数字电压表
■ 测量范围：0.1～199.9mv 灵敏度：10μv
■ 准确度：0.2%（±2个字） 供电电源
■ AC： 220V ±10%（保护隔离） 50/60HZ
■ 功率2W 四探针探头
■ 钨钢探针
■ 间距1±0.01mm
■ 针尖绝缘电阻≥100mΩ
■ 机械游移率≦1.0%
■ 探针压力 12-16牛顿（总力）使用环境
■ 温度23±2℃， 相对湿度≤80%
■ 无较强的电场干扰 无强光直接照射 使用方法
■ 使用仪器前将电源线、测试笔联接线与主机联接好，电源线插头插入～220V座插后，开启背板上的电源开关，此时前面板上的数字表、发光二极管都会亮起来。探针头压在被测单晶上，右边的表显示从1、4探针流入单晶的测量电流，左边的表显示电阻率或2、3探针间的电位差。电流大小通过旋转前面板右上方的电位器旋钮加以调节。
■ 校准设备：厚度小于3.98mm的（本公司提供厚度小于3.98mm的标准电流修正系数表）取与要备测试硅材料厚度相同的硅材料标准样块校准电阻率测试仪，测试厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一标准样块校准电阻率测试仪。
■ 测试: 用四探针接触硅材料，以探针压下三分之二为准，待仪器显示数字稳定即可. | 
功能特点
