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该测试仪可以准确的测出硅料中硼、磷等多达70多种杂质的含量。 能够进行定性及定量分析,能实现一次进样多元素同时分析,分析软件及数据处理系统便于操作,功能强大。 | |
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■ 可编辑的分析条件和分析数据文件 ■ 波长范围 175nm~800nm 高频电源 ■ 发生器 它激式电子管光源,负高压增益自动调节,自动匹配,自动点火 仪器整体性能 ■ 精密度 RSD ≤2% |
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该测试仪可以准确的测出硅料中硼、磷等多达70多种杂质的含量。 能够进行定性及定量分析,能实现一次进样多元素同时分析,分析软件及数据处理系统便于操作,功能强大。 | |
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■ 可编辑的分析条件和分析数据文件 ■ 波长范围 175nm~800nm 高频电源 ■ 发生器 它激式电子管光源,负高压增益自动调节,自动匹配,自动点火 仪器整体性能 ■ 精密度 RSD ≤2% |