扩散退火自动化插片机

1.支持石英舟直插放置或菱形放置；
2.产能>=8000pcs/h,极低的破损率<=0.05%；
3.高精度陶瓷吸盘规避吸盘印和划伤的发生，高精度花篮顶齿与疏齿保证更低的碎片率；
4.能完美适配常用各200/300/500/600/800/1000/1200槽石英舟;
5.花篮传输，插取片所有运行机构统一丝杆驱动；
6.可选配方阻检测功能。