全自动制酸洗综合设备

产品特点

·3200片(125*125、156*156)／小时超大产能

·采用第四代***新全直动配液、补液技术．全面完善的防酸、防腐措施，保护到机器每一个角落。

·***新全自动补液技术。

·独特的硅片干燥处理技术，保证硅片干燥不留任何水痕

·成熟的硅片干燥工艺，多种先进技术集于一身。

·彩色大屏幕人机界面操作．方便参数设置及多工艺方式转换

·高速移载机械手采用松下伺服程序控制．具有高速，防压，自动归正．四点稳定抓取，带钧抱篮等特点。