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北京羲和阳光科技发展有限公司

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硅片表面线痕测试仪

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更新日期2022-11-28 14:35

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商品信息

基本参数

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所在地:

北京

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有效期至:

长期有效
详细说明

硅片表面线痕测试仪
产品型号:进口
对硅片表面的线痕进行轻松测量。该设备带专用控制器的高精度,高性能,操作简单,显示一目了然。

特点
■显示一目了然,操作简单: 配备高可见度7.5 英寸TFT LCD 屏幕。彩色图标显示、触控式面板,显示更清晰,操作简单。
■轻松定位: 使用专用控制器内置的操纵杆,轻松、快速地定位。小孔内侧的测量,需要对微小测头进行微调。利用手动手柄,实现轻松微调。 
■轻松设置表测量条件: 利用配备的简单输入功能,可按照ISO/JIS 标准的绘图指令符号进行输入。以往非常麻烦的测量条件设置如今可轻松输入,从菜单上直接选取表面线痕的绘图指令符号即可。
 

技术参数

技术参数: SJ-500
X 轴 (驱动部)
  测量范围: 50mm
  分辨率: 0.05μm
  检测方法: 线性编码器
  驱动速度: 0 - 20mm/s
  测量速度: 0.02 - 5mm/s
  移动方向: 向后
  直线度: 0.2μm / 50mm
  定位: ±1.5° (倾角、有DAT 功能) 30mm (向上/向下)
检测器
  范围/分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm, 8μm / 0.0001μm
  检测方法: 无轨/有轨测量
  测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型)
  测针针尖: 金刚石、90o / 5μmR (60o / 2μmR: 低测力型)
  导头曲率半径: 40mm
  检测方法: 差动电感式
控制器
  显示: 7.5" 带背光的TFT 彩显
  打印机: 内置热敏打印机
  放大倍率: 水平: X10 至 X500,000、自动 垂直: X0.5 至 X10,000、自动 驱动装置的控制: 通过操纵杆手动手柄的操作

技术参数: SV-2100
X 轴 (驱动部)
  测量范围: 100mm
  分辨率: 0.05μm
  检测方法: 线性编码器
  驱动速度: 0 - 40mm/s
  测量速度: 0.02 - 5mm/s
  移动方向: 向后
  直线度: 0.15μm / 100mm Z2 轴 ( 立柱)
  类型: 手动操作或电驱动
  垂直移动: 350mm 或 550mm*
  分辨率*: 1μm
  检测方法*: 旋转编码器
  驱动速度*: 0 - 20mm/s * 仅适于电驱动型
检测器
  范围/分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm, 8μm / 0.0001μm
  检测方法: 无轨/有轨测量
  测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型)
  测针针尖: 金刚石、90o / 5μmR (60o / 2μmR: 低测力型)
  导头曲率半径: 40mm
  检测方法: 差动电感式
控制器
  显示: 7.5" 带背光的TFT 彩显
  打印机: 内置热敏打印机
  放大倍率: 水平: X10 至 X500,000、自动 垂直: X0.5 至 X10,000、自动
  驱动装置的控制: 通过操纵杆手动手柄的操作

 
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