1、基本尺寸机床外形尺寸（长×宽×高）：870mm×3420mm×2555mm重量：20t
2、晶棒加工能力长度范围：150～650mm直径范围：150～220mm宽度范围：125～156mm
3、晶棒加工精度长度： 0.15mm对角线： 0.15mm锥度（头尾）：<0.06mm垂直度：90o 0.1o
平面粗糙度：Ra<0.5,Rz<1.7,Ry<1.0
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更新日期2022-11-28 14:02
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