主要功能参数 NXRJ-CZ8520 B/P
CCD 相素 2,000,000
个数 单CCD
IRCON 精度 0.1ºC
晶料相关 装料量 95Kg
通用直径 6~8"/或非标
坩锅直径 18"/20"
晶棒***长尺寸 2010mm
机器外型 中炉内径 850mm
机器安装面积 1750X1550mm
机器高度 7300mm
炉体重量 ~4000Kg
电源系统 输入电源 三相AC380V±5% 240KVA
电源频率 50HZ/60HZ
加热器功率 Max:150Kw Dc50V 2700A
电源装置 1GBT/可控硅
可控硅&变压器 全水冷数字CPU控制
双LCD显示屏 有
籽晶升降 籽晶行程 3200mm
籽晶升速 低速0~10mm/min
高速600mm/min
籽晶转速 0~40RPM
籽晶绳材质 钨质直径1.8mm
坩埚升降 坩埚行程 350mm
坩埚升速 低速0~0.5mm/min
高速100mm/min
坩埚转速 0~21RPM
***大载重 >182Kg
其他 籽晶晃动范围 转速<12RPM时晃动<2mm
炉体水平度 水平<0.06mm/m
极限真空 <3mT
真空漏气率 <0.5mT/min
控制方式 PLC 三菱Q06H/基恩士PLC
PC 高性能PC(双屏)
自动/手动 全自动
称重系统 精度 无
液面测温 控制范围 无
