1. 设备概况
JRDL-800系列单晶炉是软轴提拉型单晶炉，采用PLC控制，是在惰性气体环境中，以石墨电阻加热，将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无位错单晶的设备，它可生产太阳能光伏电池和大规模集成电路所需要的高质量单晶。
2. 技术参数
| 项目 | 参数 |
| 加热器***大加热功率 | 140kW |
| 加热器***高加热电压 | 60V |
| ***高加热温度 | 1600OC |
| 晶体直径 | 6″- 8″ |
| 熔料量（18″坩埚） | 60kg |
| 主机***大高度 | 6360mm |
| 整机占地面积 | 5000×3000mm |
800型软轴单晶硅炉(JRDL-800-RN)
