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常州市天龙光电设备有限公司

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单晶矽生长炉(DRF-85)
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2022-11-28 14:43
 
详细信息

DRF-85单晶生长炉的硅是能够生长硅锭的直径8英寸太阳能及半导体应用。TLPE为客户提供高性能(高拉速和低功耗)热区的设计和工艺,它可以显着降低运营成本,提高晶体质量。

 

项目

规范

1

锭直径

∮6“-8”

2

充电大小

65kg/18“坩埚; 95kg/20”坩埚

3

炉膛尺寸

∮850×1250mm结构

4

喉径

∮260毫米

5

拉商会大小

∮280 * 2000MM

6

种子升降率

0.2-8mm/min

7

种子平动,旋转(可逆)

0-30RPM

8

坩埚旋转(可逆)

0-20rpm的

9

总坩埚旅游

380毫米

10

Crucibel升降速率

0.02-1mm/min

11

电器(变压器容量)

190KVA

12

电极距离/数量

∮436毫米/ 2

13

***大真空环境温度下。

<3Pa的

14

重量

3400公斤

15

尺寸

2000 * 1300 *7000毫米(L * W * H)

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