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 | 功能特点 |
| 多角度激光椭偏仪 SE400advanced使用632.8nm波长HeNe激光器，对测量薄膜厚度，折射率和吸收系数有非常出色的精度。 SE400advanced能够分析单层膜，多层膜和大块材料（基底） ■ 超高精度和稳定性，来源于高稳定激光光源、温度稳定补偿器设置、起偏器跟踪和超低噪声探测器 ■ 高精度样品校准，使用光学自动对准镜和显微镜 ■ 快速简易测量，可选择不同的应用模型和入射角度 ■多角度测量，可完全支持复杂应用和精确厚度 ■全面的预设应用，包含微电子、光电、磁存储、生命科学等领域 | |
| 技术指标 |
| ■ 激光波长632.8 nm ■ 150 mm (z-tilt) 载物台 ■ 入射角度可调，步进5o ■ 自动对准镜/显微镜，用于样品校准 ■ Small footprint ■ 以太网接口连接到PC | |
| 选项 |
| ■ 微细光斑选项，光斑直径30微米 ■ 手动x-y方向移动载物台，行程150 mm ■ 摄象头选项，用于取代目镜进行样品对准 ■ 液体膜测量单元 ■ 反射式膜厚仪FTPadvanced，光斑直径80微米 ■ 双波长激光 (405 nm 或1550 nm) ■ SIMULATION软件 | |
| 软件特征 |
| ■ 预先定义应用 ■ 多角度测量 ■ 广泛的材料数据库 ■ 拟合状况的图形反馈 ■ 支持多种语言 | |
