测量范围 ■ 可测量电阻率:0.1~19.9Ω*cm(可扩展)。 ■ ***大电阻测量误差(按JJG508-87进行)≤±5% ■ 适合测量各种厚度的硅片,可测晶片直径(***大) ■ 园形:Ф100mm ;方形:230×220mm 恒流源 ■ 输出电流:0.01~1mA连续可调,误差≦±0.5%。 ■ 恒流精度:各档均优于±0.1% 直流数字电压表 ■ 测量范围:0.1~199.9mv 灵敏度:10μv ■ 准确度:0.2%(±2个字) 供电电源 ■ AC: 220V ±10%(保护隔离) 50/60HZ ■ 功率2W 四探针探头 ■ 钨钢探针 ■ 间距1±0.01mm ■ 针尖绝缘电阻≥100mΩ ■ 机械游移率≦1.0% ■ 探针压力 12-16牛顿(总力)使用环境 ■ 温度23±2℃, 相对湿度≤80% ■ 无较强的电场干扰 无强光直接照射 使用方法 ■ 使用仪器前将电源线、测试笔联接线与主机联接好,电源线插头插入~220V座插后,开启背板上的电源开关,此时前面板上的数字表、发光二极管都会亮起来。探针头压在被测单晶上,右边的表显示从1、4探针流入单晶的测量电流,左边的表显示电阻率或2、3探针间的电位差。电流大小通过旋转前面板右上方的电位器旋钮加以调节。 ■ 校准设备:厚度小于3.98mm的(本公司提供厚度小于3.98mm的标准电流修正系数表)取与要备测试硅材料厚度相同的硅材料标准样块校准电阻率测试仪,测试厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一标准样块校准电阻率测试仪。 ■ 测试: 用四探针接触硅材料,以探针压下三分之二为准,待仪器显示数字稳定即可. |