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北京科华微电子材料有限公司

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负胶表面处理剂
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2022-11-28 14:11
 
详细信息

一、用途    用于BN系列产品用SiO2、SiN4、多晶硅、磷、硼等衬底的表面处理。二、主要特征    无色透明液体。其作用是将亲水基片表面转化为疏水表面,以增强胶膜与基片表面的粘附能力。三、理化指标    将待处理的基片放在本产品中浸泡20分钟,然后在200℃下烘30分钟,冷却室温后即可涂胶。五、包装    棕色瓶,500mL﹑1000mL,按MOS包装要求六、储运条件    本产品易燃,易吸潮,应存放在干燥、阴凉处,远离火源及高温。

 

表面处理剂

表面处理剂-Ⅱ型

外观

无色透明液体

无色透明液体

六甲基二硅胺烷质量分数,%

30.0±1.0

≥98.5

水份质量分数,%

≤0.1

≤0.2

≥5μm颗粒,个/mL

  ≤27

  ≤27

单项金属杂质,%

≤0.0001

≤0.0001

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