一、用途 用于去除BN系列产品的胶膜，也可用于其它同类光刻胶膜的去除。 二、主要特征 红棕色透明液体，能与水﹑醇等溶剂混溶，有腐蚀性。 三、理化指标 将待去胶的片子放在盛有去膜剂的烧杯中，置于水浴之中，在80-90℃加热15-20分钟，取出后用去离子水冲洗干净。 五、包装 棕色瓶，500mL﹑1000mL， 按MOS包装要求。 六、注意事项 本产品含有酚类及氯化物，有毒且具有腐蚀性，应在通风橱内操作，应戴手套及眼镜，如溅在皮肤上，要立即用大量水冲洗。。 七、储运条件 本产品含有酚类及氯化物，有毒、具有腐蚀性，应储存在阴凉通风处，远离火源及高温。
项目名称 | 指标 |
外观 | 红棕色透明液体 |
水份质量分数，% | ≤0.5 |
≥5μm颗粒，个/mL | ≤27 |
应用实验 | 合格 |
单项金属杂质，% | ≤0.0001 |
