一、用途 用于BN系列产品的显影，也适用于其它种类负性光刻胶的显影。 二、主要特征 无色透明液体，易挥发，能与苯﹑***等混合，不溶于水。 三、理化指标 将待显影的硅片放入带有搅拌的显影槽内，晃动显影60-90秒，然后马上用负胶清洗剂清洗，也可用喷淋显影和漂洗。 五、包装 500mL瓶装，按MOS包装要求 六、储运条件 本品为易燃品，储存于阴凉通风处，必须远离火源及热源。
项目名称 | 指标 |
外观 | 无色透明液体 |
水份质量分数，% | ≤0.05 |
≥5μm颗粒，个/mL | ≤27 |
应用实验 | 合格 |
单项金属杂质，% | ≤0.0001 |
