◆ 外形尺寸(不包括报警灯)
1650(W)×1750(D)×2450(H)mm
◆ 仓体结构(不锈钢，约1200升)
1003(W)×1270(D)×915(H)mm
◆ 电极面积 (水冷垂直电极)
1117.6(D)×609.6(H)mm ，13层
◆ 等离子发生器(美国AE)
频率40KHZ,功率0-10KW连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
◆ 控制系统
触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界***品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
英国爱德华(ULVAC)爪式干泵 GV160 (160m3/h)
英国爱德华罗茨泵 EH1000(280L/S)
台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康高精度真空计、传感器
◆ 充气系统
美国MKS高精度电子质量流量计(五路气体配制)
美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件
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