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企业视频展播,请点击播放视频作者:苏州振鑫焱光伏科技有限公司
多晶硅生产的原料是三氯氢硅和氢气,按照一定的比例计入还原炉内进行热分解和还原反应产生多晶硅棒。
三氯氢硅是用氯化氢和工业硅粉在合成炉内反应生成,氯化氢是用氢气和氯气在氯化氢合成炉内燃烧生成,氯气是氯化钠工业盐水通过通电反应生成,氢气即可以用氯化钠工业盐水通过通电反应生成。也可以用水通电电解生产。工业硅粉是用石英矿与碳在通电的情况下还原反应生成工业硅块,经粉碎变成工业硅粉。
三、扩散制结
太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换,而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内,在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器,通过三氯氧磷和硅片进行反应,不良太阳能电池板回收,得到磷原子。经过一定时间,磷原子从四周进入硅片的表面层,并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散,形成了N型半导体和P型半导体的交界面,也就是PN结。这种方法制出的PN结均匀性好,方块电阻的不均匀性小于百分之十,少子寿命可大于10ms。制造PN结是太阳电池生产基本也是关键的工序。因为正是PN结的形成,才使电子和空穴在流动后不再回到原处,这样就形成了电流,用导线将电流引出,就是直流电。
太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测——表面制绒——扩散制结——去磷硅玻璃——等离子刻蚀——镀减反射膜——丝网印刷——快速烧结等。
6、烧结
烧结是把印刷到电池片表面的电极在高温下烧结,使电极和硅片本身形成欧姆接触,提高电池片的开路电压和填充因子,使电极的接触具有电阻特性以达到高转效率,烧结过程中也可利于PECVD工艺所引入-H向体内扩散,可以起到良好的体钝化作用。
烧结方式:高温快速烧结,加热方式:红外线加热
烧结是集扩散、流动和物理化学反应综合作用的一个过程,正面Ag穿过SiNH扩散进硅但不可到达P-N面,背面Ag、Al扩散进硅,由于需要形成合金需要到一定的温度,Ag、Al与Si形成合金的稳定又不同,就需要设定不同的温度来分别实现合金化。