区熔硅单晶炉(FZ100A-ZJS)

其主要的技术指标如下：

1）上轴行程：≥2500 mm

2）下轴行程：≥2000 mm

3）拉晶速度：0 ~ 30 ±1% mm/min

4）上下轴快速移动速度：≥300 mm/min

5）单晶直径：6~8英寸（153mm~205mm）

6）工艺氩气流量控制：0-50 ml/min

7）炉压：≥3.0×105Pa

8）真空度：≤1.0Pa

9）漏气速率（正负压状态）：≤5.0Pa/h