发送询价
SS-III系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出，电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式工
作时，溅射靶工作于高频率间歇状态，使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，
适用于反应膜层环境使用。
| 电源功率范围 | 10-120KW |
| 输入电源 | AC380V三相四线制 50-60HZ±10％ |
| 输出方式 | 脉冲 |
| 脉冲宽度 | 10-90% |
| 输出电压 | 空载800V[峰值电压] |
| 灭弧时间 | ≤3uS |
| 输出电流稳定率 | 0.5% |
| 冷却方式 | 10-60KW 风冷 60-120KW 水冷 |
| 使用环境 | 环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
| 冷却水 | 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa |
| 通讯方式 | 模拟/RS485/RS232 |
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 | |
