SSDH系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。电源输出频率可制定为100、125、150、175、200KHZ，或200、250、350、400 KHZ，用于化合物膜的沉积及相关工艺开发
| 电源功率范围 | 2-20KW |
| 输入电源 | AC380V三相四线制 50-60HZ±10％ |
| 输出方式 | 交流正弦波 |
| 输出频率 | 100、125、150、175、200KHZ，或200、250、350、400 KHZ |
| 输出电压 | 空载1000V[有效值] |
| 输出特性 | 恒流、恒压、恒功率 |
| 灭弧时间 | ≤1uS |
| 输出稳定率 | 0.25% |
| 冷却方式 | 风冷 |
| 使用环境 | 环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
| 通讯方式 | 模拟/RS485/RS232 |
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 | |
