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直流磁控溅射电源(SSIII系列)
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中频交流磁控溅射电源(SST系列)
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等离子抛光电源(SPI系列)
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离子源电源(SIC-II系列)
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离子源电源(SIC-I系列)
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直流磁控溅射电源(SS III 系列)
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高功率脉冲磁控溅射电源(SSPH)
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表面处理电源(SPI-N)
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偏压电源(BOMB IV)
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气体流量控制电源(FLOW-1N4 /1N5)
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