全自动硅片脱胶预清洗设备

产品特点

·更安全的无接触酸液现场管理系统。

·更优化的脱胶洗清流程，实现理想的清洗效。

·独特的脱胶后硅片防损伤功能，提高硅片质量。

·触摸屏操作界面，PLc控制。