链式化学制程硅片自动装载设备

　　RLD-2500和RuD-2500系列是全自动的硅片装载/卸载系统，搭配于链式化学制程设备。RLD-2500将硅片准确迅速取出及定位，由机器手臂快速放置于链式化学制程设备上，RuD-2500将完成化学制程的硅片卸载至特定载具上。装载/卸载载具可由客户指定搭配使用，使系统更友善及更有弹性。