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深圳市源顺达电子机械有限公司

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[新品] 自动温控加热板NHP-320(NHP-320)
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发货期限: 自买家付款之日起 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2022-12-09 10:56
 
详细信息

1、              设备名称与型号:自动温控加热板NHP-320

2、              设备外观图:(见图)

3、              设备概要:本设备可以同时加热30片2″wafer,片子通过PIN升降达到所有wafer加热时间相同,克服因人工夹放wafer造成的工艺不稳定问题。

4、              设备规格:

1)         基板尺寸:2″wafer;

2)         Through Put:30片/run;

3)         温度范围:20~value="150" tcsc="0" unitname="℃" w:st="on">150℃(Plate表面);

4)         HP材质:AL+SALW(阳极处理)+Silastic Heater;

5)         加热面尺寸:(W×D×H) 510×430×12(mm);

6)         温度分布:value="90" tcsc="0" unitname="℃" w:st="on">90℃ ±value="1" tcsc="0" unitname="℃" w:st="on">1℃;120℃±value="1" tcsc="0" unitname="℃" w:st="on">1℃

7)         温度Sensor:PT100型热电偶;

8)         温度表示:温度调整器Digital表示;

9)         控制方式:Digital温度调整器+SSR(PID);

10)    设备外面尺寸:(W×D×H) 566×486×170(mm);

11)    设备净重:value="30" tcsc="0" unitname="kg" w:st="on">30Kg

5、             设备运作流程:

(1).查看设备外观无运输破损后,将电源线插入~220V接线板插坐;插上供气管

(2).打开电源开关,设备自检初始化,顶针(PIN)顶起

(3).设置加热温度;设置工作时间

(4).放上待加热晶片

(5).按开始键,顶针下落,晶片落下,贴紧加热板,开始加热,时间继电器开始计时

(6).时间到,顶针(PIN)同时顶起晶片,所有晶片同时离开热板不再加热,蜂鸣器响起提醒工作人员取下加热均匀的晶片。

(7).工作过程中,遇突发事件,可按停止按健,顶针立即顶起晶片,停止加热,时间继电器复位,方便随时进行人工干预。

6、              厂务要求:

 

项次

项目

內容

容量

备注

1

电源

AC 220V

value="15" tcsc="0" unitname="a" w:st="on">15A 50Hz

 

2

CDA

>6Kg

稳压value="1.5" tcsc="0" unitname="kg" w:st="on">1.5Kg

 

3

供气管

φvalue="8" tcsc="0" unitname="mm" w:st="on">8mm

value="3" tcsc="0" unitname="kg" w:st="on">3Kg~10Kg

 

 

7、              产品优势:

a)       30片/run,产能优势;

b)    Silastic Heater温度均匀性更高。

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