自动41点精密测厚仪

自动41点精密测厚仪是硅片几何测量的小型台式仪器。该指数是基于两个厚钢板相反对方展开，每个板块包含了一套非接触式电容式传感器，可测硅片厚度、TTV、弯曲度、翘曲度等。