多角度激光椭偏仪(PH-LE型)专门针对晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量,能够测量薄膜厚度及其光学常数,使用632.8nm波长氦氖激光器,具有极高的精确度和准确度。
产品特点:
■ 可以测量单晶电池片、多晶电池片
■ 可以测量抛光片,精确度和准确度极高
■ 可以测量粗糙表面的“绒片”
■ 适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量
■ 可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数(偏振因数)进行测量和评估,提高测量精度
■ 配置有高稳定度补偿器,提供***小的漂移值和***小的测量误差
■ 配置有高精度的自动光学对准显微镜
■ 可进行20°-90°范围内的多角度测量
测量特点:
■ 非破环性检测
■ 样品准直简单方便
■ 测量速度快
■ 可变入射角范围宽
■ ***测量
■ 软件分析功能强
技术指标:
■ 光源:He-Ne激光器
■ 光斑直径:1-2mm
■ 入射角范围:20°到90°,5°/步
■ 精度:0.002°~ 0.02°
■ 膜厚精度:0.01mm,对100nmSiO2on Si
■ 折射率精度:0.0005,对100nmSiO2on Si
■ 激光光斑:直径1mm
■ 激光波长632.8 nm
典型客户: 美国,欧洲,亚洲及国内太阳能及半导体客户。