850(W)×1000(D)×1850(H)mm
◆ 仓体结构(约200升)
550(W)×700(D)×530(H)mm
◆ 电极面积
550(W)×700(D)×530(H)mm，14层
◆ 等离子发生器(MF)
频率40KHZ,功率0-3KW连续调节,自动阻抗匹配
◆ 控制系统
◆ 真空系统
日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S)
进口气动角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管，
德国英福康Inficon高精度真空计、规管
◆ 处理气体
美国世伟洛克Swagelok不锈钢抛光气体管
